凈化廠(chǎng)房工業(yè)管道一般規定

8工業(yè)管道

8.1一般規定

8.1.1、8.1.2本次修訂的理由是：

    (1)由于現有潔凈廠(chǎng)房?jì)?，除給排水管道外的工業(yè)管道還包括各類(lèi)氣體輸送、液體輸送和真空管道等，所以將本章擴大更名為“工業(yè)管道”。據了解，目前潔凈廠(chǎng)房?jì)鹊墓I(yè)管道干管、支干管均基本敷設在上、下技術(shù)夾層、技術(shù)夾道或特殊的管廊內，這種方式既可滿(mǎn)足潔凈室（區）生產(chǎn)工藝的需要，符合潔凈室（區）布置和潔凈、美觀(guān)的要求，又有利于各類(lèi)管道的安裝、維護。

    (2)據調查了解，目前在潔凈室（區）內的易燃、易爆、有毒物質(zhì)的輸送管道大多采取明敷的方式，即包括這類(lèi)物質(zhì)輸送管道的干管、支干管和接至產(chǎn)品生產(chǎn)設備的支管均采取明敷的方式，以便容易發(fā)現這類(lèi)物質(zhì)在輸送過(guò)程中可能發(fā)生的泄漏，有利于即時(shí)采取搶救措施。但是由于各種原因，并不是所有的潔凈室都采用明敷，也有的工程在采取必要的安全保護措施后，將這類(lèi)物質(zhì)的輸送干管、支干管敷設在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內，此時(shí)在技術(shù)夾層、技術(shù)夾道內應設置可靠的氣體泄漏報警和機械排風(fēng)措施，一旦此類(lèi)管道發(fā)生易燃、易爆、有毒物質(zhì)泄漏至技術(shù)夾層、技術(shù)夾道后，當超過(guò)規定的濃度限值時(shí)，氣體報警裝置發(fā)出聲光信號，并自動(dòng)連鎖開(kāi)啟事故排風(fēng)機，避免事故的發(fā)生，為此作了第3、4款的規定，第4款為強制性條文。

   (3)原規范規定的“管道及管架宜設裝飾面板”，由于“裝飾面板”式樣不明確，在實(shí)施中形式多樣，且不統一，有的采用裝飾不銹鋼套管，易于清潔、整齊光滑，有的僅為“象征性”措施，不能達到潔凈、美觀(guān)的目的，甚至不易清潔、維護，為此本次修訂取消了此規定。

8.1.3工業(yè)管道的管徑通常應按輸送物質(zhì)的物化性質(zhì)和具體工程中所輸送物質(zhì)的流量，溫度、壓力和流速確定。其中流量，壓力、溫度是依據產(chǎn)品生產(chǎn)工藝確定，但管內物料流速應按其物化性質(zhì)、狀態(tài)合理確定。

     各種物料在輸送過(guò)程中應盡量減少污染，使停止使用時(shí)的物料殘留盡量少，并使管道系統易于吹除，因此各類(lèi)工業(yè)管道系統應盡量短，避免“盲管”等不易吹除的死角。

     由于各類(lèi)工業(yè)管道在投人使用前或檢修前、后均應進(jìn)行吹除、排放達到預期潔凈度或純度要求，為此各工業(yè)管道系統應設必需的吹除口、放凈口，以確保各系統的安全、穩定運行。為進(jìn)行物料的化驗、分析或吹除效果的取樣，相應的管道系統還應設置取樣口。

     鑒于各類(lèi)工業(yè)管道輸送的物料品種較多、純度不同，不能做統一的強制性規定，為此將本條改為推薦性條文。

8.1.4本條規定工業(yè)管道穿過(guò)潔凈室墻壁或樓板處的管段不應有焊縫，是便于檢查焊縫的焊接質(zhì)量。為保持潔凈室的空氣潔凈度和室內正壓規定，管道與墻壁或樓板之間應采取可靠的密封措施，密封材料常用硅橡膠等填堵。

8.1.5可燃氣體（包括城鎮燃氣、天然氣、氫氣等）和氧氣管道系統發(fā)生事故或氣體純度不符合要求時(shí)，需吹除置換，這些氣體吹除置換時(shí)不能排入室內，所以在管道末端或最高點(diǎn)應設放散管，以便將氣體排入大氣。放散管的排放口應高出屋脊1m，以防止由于風(fēng)向的影響使排放的氣體倒灌回室內。本條涉及可燃氣體等管道系統的運行安全，為此作為強制性條文規定。

8.1.6對氣體純度要求嚴格的生產(chǎn)工藝，如電子工業(yè)中電真空器件、半導體器件、特種半導體器件、集成電路等生產(chǎn)工藝，從材料制備到器件制造、封裝、性能測試等工藝過(guò)程中各種高純氣中的雜質(zhì)含量將直接影響產(chǎn)品的合格率，如氫氣用于硅外延時(shí)，在高溫下氫中的微量氧和水汽易與硅作用生成二氧化硅而影響完整結晶生長(cháng)，致使外延片的堆垛層錯密度高，甚至變成多晶。

     氨氣在擴散過(guò)程中作為運載氣時(shí)，如果含有氧和水汽易使，比裝置的設置應根據純度的要求，選擇相應的氣體凈化裝置。

    為保證使用點(diǎn)氣體純度符合要求，規定氣體終端凈化裝置宜設在鄰近用氣點(diǎn)處以縮短高純氣體管道的長(cháng)度，避免污染，氣體終端凈化裝置應該是距離用氣點(diǎn)越近越好，但往往受各種條件限制、難以實(shí)現，為此條文規定采用“宜”。

8．1.7在各種生產(chǎn)工藝過(guò)程中不僅對各種氣體純度要求十分嚴格，而且對氣體中含塵量也有相應嚴格的要求，有關(guān)專(zhuān)家指出，高純氣體中含塵量比其純度在一定意義上顯得更為重要，因此規定了根據不同的生產(chǎn)工藝要求設置相應精度的氣體終端過(guò)濾器，并規定應設在靠近用氣點(diǎn)。

     在潔凈廠(chǎng)房?jì)纫话阍O置預過(guò)濾器和高精度終端氣體過(guò)濾器預過(guò)濾器是設在潔凈廠(chǎng)房氣體人口室的干管上，作為預過(guò)濾，以減輕終端過(guò)濾器的負擔，并延長(cháng)其使用壽命。

     預過(guò)濾器的濾材通常采用多孔陶瓷管、多孔鋼玉管、微孔玻璃制品、微孔泡沫塑料、粉末冶金管、聚丙腈纖維等。

     高精度終端氣體過(guò)濾器是設在靠近用氣設備的支管上。其濾材采用超細玻璃棉高效濾紙、醋酸纖維素濾膜、粉末金屬材料等。

8.1.8進(jìn)入潔凈廠(chǎng)房的氣體、液體管道種類(lèi)根據生產(chǎn)工藝的不同 確定，一般各種管道上均設有總控制閥門(mén)，壓力表、流量計、過(guò)濾器、調壓裝置、在線(xiàn)分析儀等，為安全可靠運行和方便管理，應將這些控制裝置、附件集中設置在氣體、液體入口室或分配室內。對于甲、乙類(lèi)火災危險生產(chǎn)用氣體、液體入口室或分配室內，可能有可燃氣體、液體管道如氫氣、燃氣等時(shí)，在與潔凈廠(chǎng)房毗連布置時(shí)，應按本條第1款的規定實(shí)施，據調查，現有的這類(lèi)潔凈廠(chǎng)房大多均按此類(lèi)要求進(jìn)行布置，設在潔凈廠(chǎng)房邊跨靠外墻的房間內，并應以耐火極限大于3.0h的隔墻與相鄰房間分隔；還應設置好的通風(fēng)措施，及時(shí)排除可能泄漏的可燃氣體等，并應按現行國家標準（建筑設計防火規范》GB50016的規定，設置必要的泄壓面

織，電氣防爆應按現行國家標準《爆炸和火災危險環(huán)境電力裝置設D50058的規定進(jìn)行爆炸危險環(huán)境的設防。本條規定涉及潔凈廠(chǎng)房的安全穩定運行，所以規定為強制性條文。