潔凈室主要測試方法

A. 3.1 風(fēng)量或風(fēng)速測試應符合下列規定:

1 對于單向流潔凈室,采用室截面平均風(fēng)速和截面乘積的方法確定送風(fēng)量,測點(diǎn)位于高效過(guò)濾器出風(fēng)面約 150mm~300mm,垂直氣流處的截面作為采樣截面,截面上測點(diǎn)間距不宜大于0.6m,測點(diǎn)數不應少于 4 點(diǎn),所有讀數的算術(shù)平均值作為平均風(fēng)速。

2 對于非單向流潔凈室,采用風(fēng)口或風(fēng)管法確定送風(fēng)量,可按現行國家標準《通風(fēng)與空調工程施工質(zhì)量驗收規范》GB 5024337規定的方法執行.

A.3.2 靜壓差測試應符合下列規定:

1 靜壓差的測定應在潔凈室(區)的風(fēng)速、風(fēng)量和檢測合格后進(jìn)行,并應在所有的門(mén)關(guān)閉時(shí)檢測。

2 儀器宜采用各種微差壓力計,儀表靈敏度應小于1.0P.

A.3.3 已安裝過(guò)濾器檢漏測試應符合下列規定:

1 檢漏方法有光度計法和粒子計數器法。

2 在過(guò)濾器上風(fēng)側應引入測試用氣溶膠,在過(guò)濾器下風(fēng)側用光度計或粒子計數器的等動(dòng)力采樣頭放在距離被檢過(guò)濾器表面掃描速度移動(dòng) , 2cm~3cm 處,以 5mm/s~15mm/s 的掃描速度移動(dòng),并應注意安裝交接處的掃描。

A.3.4 密閉性測試應用于確認有無(wú)被污染的空氣從相鄰潔凈室 (區)或非潔凈室(區)通過(guò)吊頂、隔墻等表面或門(mén)、窗滲漏入潔凈室 (區)。一般適用于1級至 5 級的潔凈室(區)進(jìn)行測試。采用光度計法和粒子計數器法進(jìn)行測試。

A. 3.5 潔凈度的檢測應符合下列規定:

1 使用采樣量大于 1L/min 的光學(xué)粒子計數器,在儀器選用時(shí)應考慮粒徑鑒別能力、粒子濃度適用范圍和計數效率。儀器應有有效的標定合格證書(shū)。

2 最少采樣點(diǎn)數應按下式計算:

N_L= A^0.5       (A. 3. 5-1)

式中: N_L -- 最少采樣點(diǎn);

        A--潔凈室或被控潔凈區的面積(m2)。

3 采樣點(diǎn)應均勻分布于潔凈室或潔凈區的整個(gè)面積內,并位于工作活動(dòng)的高度,活動(dòng)高度宜距地面 0.8m;每個(gè)采樣點(diǎn)的最小采樣時(shí)間為 1min。

4 每一采樣點(diǎn)的每次采樣量應至少為2L,采樣量應按下式

計算:

Vs =20/C_n.m  * 1000  (A. 3. 5-2)

式中:Vs--每個(gè)采樣點(diǎn)的每次采樣量,以L(fǎng) 表示;當 Vs很大時(shí),可使用順序采樣法;

C_n.m -被測潔凈室空氣潔凈度等級的被測粒徑的限值 (pc/m');

20-在規定被測粒徑粒子的空氣潔凈度等級限值時(shí),可測到的粒子顆數(pc).

5 當潔凈室或潔凈區僅有一個(gè)采樣點(diǎn)時(shí),則在該點(diǎn)應至少采樣3次。

A.3.6 對超出等級范圍粒子的檢測應符合下列規定:

1 在產(chǎn)品生產(chǎn)工藝有要求時(shí),可按等級粒徑范圍之外的粒子濃度規定空氣潔凈度的水平。此類(lèi)粒子的最大允許濃度和檢測方法應由客戶(hù)與建造商協(xié)商確定。

2 當需評價(jià)小于 0.1μm 的粒子造成的污染危險時(shí),應采用符合這類(lèi)粒子具體特性的采樣方法和裝置;可獨立應用 U 描述符說(shuō)明超微粒子濃度,也可將它作為懸浮粒子空氣潔凈度等級的補充說(shuō)明。

U 描述符用“U(x,y)”表示,其中 x 為超微粒子的最大允許濃度(pc/m3),y 為以微米計的粒徑。例如:粒徑范圍等于或大于 0.01μm 的最大允許超微粒子的濃度為 140000 個(gè)/m3,應表示為“U(140000,0.01μm)”。

3 當需評價(jià)大于 5μm 的粒子造成的污染危險時(shí),應采用符合這類(lèi)粒子具體特性的采樣裝置和方法?？瑟毩?M 描述符說(shuō)明大于 5μm 的粒子濃度,也可將它作為懸浮粒子空氣潔凈度等級的補充說(shuō)明。

M 描述符用“M(a,b);c”表示,其中 a 為大粒子的最大允許濃度(pc/m3),b 為與規定的大粒子測量方法相應的當量直徑(μm), c 為規定的測量方法。

例如:采用顯微鏡對多級撞擊采樣器采集的粒子進(jìn)行檢測,測量得到 10μm~20μm 粒徑范圍的懸浮粒子濃度為1000個(gè)/m3,則· 39 ·用 M 描述符表示為“M(1000;10μm~20μm);多級撞擊采樣器、顯微鏡測定粒徑并計數”。

A. 4 監測

A. 4.1 按照雙方協(xié)議書(shū)的規定進(jìn)行空氣中懸浮粒子濃度和其他參數的監測。

A. 4.2 雙方協(xié)議書(shū)中應明確測量空氣懸浮粒子濃度最少采點(diǎn)、每次最少的空氣采樣量、采樣時(shí)間、每個(gè)采樣點(diǎn)的測量次數、量時(shí)間間隔、被計數粒子的粒徑,以及粒子數的限值。

A. 4.3 當監測結果超過(guò)規定的限值時(shí),則應認定設施不符合要求,應進(jìn)行修正;修正后應再進(jìn)行認證檢測。當監測結果在規定限值內,可繼續監測。

A.5 認證

A.5.1 按雙方協(xié)議書(shū)的規定及第 A. 2 節的要求,按第 A.3 節的方法進(jìn)行測試,當測試結果在規定的限值之內時(shí),可認定該潔凈室符合規定要求,當測試結果超過(guò)規定的限值,可認定該潔凈室不符合要求,應進(jìn)行改進(jìn),在完成改進(jìn)工作之后,應進(jìn)行再認證。

A. 5.2 記錄數據評價(jià)應符合下列規定:

1 在空氣潔凈度測試中,當測點(diǎn)在1點(diǎn)~10點(diǎn)時(shí),應計算平均中值、標準偏差、標準誤差和由全部采樣點(diǎn)的平均粒子濃度導出95%置信上限值。

2 當采樣點(diǎn)超過(guò) 10 點(diǎn)時(shí),應計算算術(shù)平均值,并按算術(shù)平均值進(jìn)行空氣潔凈度等級的評價(jià)。

A. 5.3 每次性能測試或再認證測試應做記錄,并應提交性能合格或不合格的綜合報告。測試報告應包括下列內容:

1 測試機構的名稱(chēng)、地址。

2 測試日期和測試者簽名。

3 執行標準的編號及標準出版日期。

4 被測試的潔凈室或潔凈區的地址、采樣點(diǎn)的特定編號及坐標圖。

5 被測潔凈室或潔凈區的空氣潔凈度等級、被測粒徑、被測潔凈室所處的狀態(tài)、氣流流型和靜壓差。

6 測量用的儀器編號和標定證書(shū),測試方法細則及測試中的特殊情況。

7 測試結果包括在全部采樣點(diǎn)坐標圖上注明所測的粒子濃度或沉降菌、浮游菌的菌落數。

8 對異常測試值進(jìn)行說(shuō)明及數據處理。

9 注明上次的測試日期。

10 設施的測試文件可作為下次監測計劃的依據。

A. 5.4 測試機構應提交潔凈室檢驗證書(shū)、再檢驗證書(shū)。