4.4 噪 聲 控 制

4.4.1 潔凈室內的空態(tài)噪聲級,非單向流潔凈至不應大于60dB (A),單向流、混合流潔凈室不應大于 65dB(A)。

4.4.2 潔凈室的噪聲頻譜限制應采用倍頻程聲壓級,空態(tài)噪聲知譜的限制值不宜大于(表 4.4.2 )中的規定。

4.4.3 潔凈廠(chǎng)房的平面和空間設計應考慮噪聲控制要求。潔凈室的圍護結構應有良好的隔聲性能,并宜使其各部分隔聲量相接近。

4.4.4 潔凈室內的各種設備均應選用低噪聲產(chǎn)品。對于輻射噪聲值超過(guò)潔凈室允許值的設備,宜設置專(zhuān)用隔聲或消聲設施。

4.4.5 凈化空調系統噪聲超過(guò)允許值時(shí),應采取隔聲、消聲、隔振等控制措施。除事故排風(fēng)外,潔凈室內的排風(fēng)系統應進(jìn)行減噪設計。

.4.6 根據室內容許噪聲級要求,凈化空調系統風(fēng)管內風(fēng)速宜符合下列規定:

1 總風(fēng)管風(fēng)速宜為 6m/s~10m/s.

2 無(wú)送、回風(fēng)口的支風(fēng)管風(fēng)速宜為 4m/s~6m/s.

3 有送、回風(fēng)口的支風(fēng)管風(fēng)速宜為 2m/s~5m/s.

4.5 微 振 控 制

4.5.1 有微振控制要求的潔凈廠(chǎng)房設計應符合下列規定:

1 在結構選型、隔振縫設置、壁板與地面、壁板與頂棚連接處,應按微振控制要求設計。

2 潔凈室與周?chē)o助性站房?jì)扔袕娏艺駝?dòng)的設備及連接管道應采取主動(dòng)隔振措施。

3 應測定潔凈廠(chǎng)房?jì)?、外各?lèi)振源對潔凈廠(chǎng)房精密設備、精密儀器儀表位置處的綜合振動(dòng)影響,以決定是否采取被動(dòng)隔振措施。

4.5.2 精密設備、精密儀器儀表的容許振動(dòng)值應由生產(chǎn)工藝和設備制造部門(mén)提供。當生產(chǎn)工藝和設備制造部門(mén)難以提供容許振動(dòng)值時(shí),可按現行國家標準《隔振設計規范》GB 50463 的有關(guān)規定執行。

4.5.3 精密設備、精密儀器儀表的被動(dòng)隔振設計應具備下列條件:

1 周?chē)裨磳ζ渚C合影響的振動(dòng)數據。

2 設備、儀器儀表的型號、規格及輪廓尺寸圖。

3 設備、儀器儀表的質(zhì)量、質(zhì)心位置及質(zhì)量慣性矩。

4 設備、儀器儀表的底座外輪廓圖,附屬裝置,管道位置及坑、溝、孔洞尺寸,地腳螺栓及預埋件位置等。

5 設備、儀器儀表的調平要求。

6 設備、儀器儀表的容許振動(dòng)值。

7 所選用或設計的隔振器或隔振裝置的技術(shù)參數、外形尺寸及安裝條件。

4.5.4 精密設備、精密儀器儀表的被動(dòng)隔振設計應符合下列規定:

1:隔振臺座應具有足夠的剛度。

2 隔振臺座應采取傾斜校正措施。

3 隔振系統各向阻尼比不應小于 0.15。

4 隔振措施不應影響潔凈室內的氣流流型。

4.5.5 精密設備、精密儀器儀表的被動(dòng)隔振措施宜采用能自動(dòng)校正傾斜的空氣彈簧隔振裝置。對供應空氣彈簧用的氣源應進(jìn)行凈化處理。