凈化行業(yè)相關(guān)術(shù)語(yǔ)
1:潔凈室(clean room)
空氣懸浮粒子受控的房間,它的建造和應用減少室內誘入、產(chǎn)生和及停留的粒子。室內其它有關(guān)參數及如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。
2:潔凈區(clean zone)
空氣懸浮粒子受控的限定區間,它的建造和應用減少室內誘入、產(chǎn)生和及停留的粒子。室內其它有關(guān)參數及如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。潔凈區可以是開(kāi)放式或封閉式。
3:移動(dòng)式潔凈小室(mobile clean booth)
可整體移動(dòng)的小型潔凈室,有剛性和柔性材料圍檔兩類(lèi)。
4:人身凈化用室 (room for cleaning human body)
人員在進(jìn)入潔凈室之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。
5:物料凈化用室 (room for cleaning material)
物料在進(jìn)入潔凈室之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。
6:粒徑 (particle size)
給定的粒徑測定儀所顯示的,與被測粒子的響應量相當的球形形體直徑。
7:懸浮粒子 (airborne particle)
用于空氣潔凈度分級的空氣懸浮粒子尺寸范圍在0.1um-5um的固體和液體粒子,但不適用于表征懸浮粒子的物理性,化學(xué)性,放射性和生命性。
8:超微粒子 (untrafine particle)
有當量直徑小于0.1um的粒子。
9:微粒子(microparticle)
有當量直徑大于5 um的粒子.
10 粒徑分布(particle size diseribution)
粒子粒徑頻率分布和累積分布,是粒徑的函數。
11:含塵濃度(particle size distribution)
單位體積空氣中懸浮粒子的顆數。
12:潔凈度(cleanliness)
以單位體積空氣中大于或等于某粒徑粒子的數量來(lái)區分潔凈程度。
13:氣流流型(air flow pattern)
對室內空氣的流動(dòng)形態(tài)和分布進(jìn)行合理設計。
14:?jiǎn)蜗蛄鳎╱nidirectional airflow)
通過(guò)潔凈室(區)整個(gè)斷面的風(fēng)速穩定,大致平行的受控氣流。
15:垂直單向流(vertical unidirectional airflow)
與水平垂直的單向流。
16:水平單向流(horizontal unidirectional airflow)
與水平平行的單向流。
17:非單向流(non-vertical unidirectional airflow)
送入潔凈室(區)的送風(fēng)以誘導方式與室(區)內空氣混合的氣流分布類(lèi)型。
18:流合流(mixed airflow)
單向流和非單向流組合的氣流。
19:潔凈工作區(clean working area)
除了工藝特殊要求外,指潔凈室內離地面高度0.8-1.5m的區域。
20:空氣吹淋室(air shower)
利用高速潔凈氣流吹落并清除進(jìn)入潔凈室人員表面附著(zhù)的粒子的小室。
21:氣閘室(air lock)
設置在潔凈室的出入口,阻隔室外或鄰室污染氣流和壓差控制而設置的緩沖間。
22:傳遞窗(pass box)
在潔凈室隔塥上設置的傳遞物流和工器具的窗口。兩側裝有不能同時(shí)開(kāi)啟的窗扇。
23:潔凈工作臺(clean bench)
能夠保持操作空間所需的潔凈度的工作臺。
24:潔凈工作服(clean working garment)
為了把工作人員產(chǎn)生的粒子限制在最小程度的所使用的發(fā)塵量少的潔凈服裝。
25:空態(tài)(as-built)
設施已經(jīng)建城,其服務(wù)動(dòng)力公用設施區接通并運行,膽無(wú)生產(chǎn)設備,材料及人員的狀態(tài)。
26:靜態(tài)(as-rest)
設施已經(jīng)建城,生產(chǎn)設備已經(jīng)安裝好,并按供需雙方商定的狀態(tài)運行,但無(wú)生產(chǎn)人員的狀態(tài)。
27:動(dòng)態(tài) (operational)
設施以規定的方式運行,有規定的人員在場(chǎng),并在商定的狀態(tài)下進(jìn)行工作。
28:已裝過(guò)濾檢漏(installed filter systemleakage test)
為確認過(guò)濾器安裝良好,沒(méi)有向潔凈室(區)的旁路滲漏,過(guò)濾器及框架均無(wú)缺陷和滲漏所做的檢測。
29:純水(purity water )
對電解雜質(zhì)含量和非電解雜質(zhì)含量均有要求的水。
30:防靜電環(huán)境(antistatic environment)
能防止靜電危害的特定環(huán)境,在這一環(huán)境中不易產(chǎn)生靜電,靜電產(chǎn)生后晚于消散或消除,靜電噪聲難以傳播。
31:表面電阻(surface resistance)
在材料的表面上兩電極間所加電流電壓與流過(guò)兩極間的穩態(tài)電流之商。
32:體積電阻(volume resistance)
在材料的相對兩表面上放置的兩電極所加直流電壓與流過(guò)兩電極間的穩態(tài)電流之商。該電流不包括沿材料表而后電流。
33:專(zhuān)用消防口(fire-fight access)
消防人員為滅火而進(jìn)入建筑的專(zhuān)用入口,平時(shí)封閉,使用時(shí)由消防人員從室外打開(kāi)。
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